توضیحات:
پاورپوینت کامل و جامع با عنوان سنسورهای مبتنی بر نانو اهرم ها، عملکرد و ساخت در 27 اسلاید                 سیستم‌های میکرو الکترومکانیکی (به انگلیسی: MEMS:Microelectromechanical systems ) فناوری سیستم‌های بسیار کوچک در ابعاد میکرومتر است. در حالی که قطعات الکترونیکی با استفاده از روال ساخت مدار مجتمع (IC) ساخته می‌شوند (همانند فرایندهای CMOS، Bipolar یا BICMOS)، عناصر میکروماشینها از طریق فرایندهای ماشین کاری میکرونی (Micromachining) تولید می‌شوند به این ترتیب که بر حسب مورد، قسمتهایی از ویفر (Wafer) برداشته‌شده یا لایه‌های جدیدی به آن اضافه می‌شود.MEMS با تلفیق میکروالکترونیک سیلیکونی با فناوری ماشین کاری میکرونی، نوید تحول را در تقریباً هرنوع محصولی می‌دهد تا به این ترتیب به «نظام روی یک تراشه» جامه عمل بپوشاند. MEMS فناوری واقعاً توانایی است که با درک و کنترل قابلیتهای «میکروسنسورها و»میکرو محرکها و به همراه آوردن توانایی محاسبات دستگاههای میکروالکترونیکی، موجب پیشرفت در تولیدات هوشمند می‌شود. MEMS همچنین فناوری بسیار گسترده و مس ... دریافت فایل
کلمات کلیدی:
نانو , اهرم , پیزومقاومتی , پیزوالکتریک , استاتیک , دینامیک , سنسور , MEMS ,